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 书籍（章节） Eco-friendly Corrosion Inhibitors for Multilevel Metal Interconnects of Integrated Circuits 集成电路多级金属互连用环保型缓蚀剂
相关领域
化学机械平面化
材料科学
腐蚀
薄脆饼
互连
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期刊：ACS symposium series 作者：Baimei Tan; Lei Guo; Wei Li; Jinbo Ji; Mengyue Zhu 出版日期：2021-11-15 |
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