KPFM and XPS Metrology of Self-Assembled Monolayer Barrier for Copper Metallization

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标题	KPFM and XPS Metrology of Self-Assembled Monolayer Barrier for Copper Metallization
网址	https://iopscience.iop.org/article/10.1149/MA2018-02/16/702
DOI	10.1149/ma2018-02/16/702 doi
其它	期刊：ECS Meeting Abstracts 作者：Rakefet Ofek Almog; Yelena Sverdlov; Kian Kadan; Larisa Burstein; Ronen Dagan; Yosi Shacham-Diamand 出版日期：2020-02-27
求助人	777 在 2026-03-14 01:48:20 发布自湖北，悬赏 10 积分
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