Mechanistic insights into the synergistic effect of oxidizers and abrasives in chemical mechanical polishing of 4H-SiC wafer

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标题	Mechanistic insights into the synergistic effect of oxidizers and abrasives in chemical mechanical polishing of 4H-SiC wafer
网址	https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2025.07.097
DOI	10.1016/j.ceramint.2025.07.097 doi
其它	期刊：Ceramics International 作者：Xin Song; Jiani Guo; Changqi Xu; Zhigang Dong; Renke Kang; et al 出版日期：2025-07-15
求助人	五音在 2026-08-26 20:24:07 发布自吉林，悬赏 10 积分
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