Si surface passivation by Al2O3 thin films deposited using a low thermal budget atomic layer deposition process - 科研通

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标题	Si surface passivation by Al2O3 thin films deposited using a low thermal budget atomic layer deposition process
网址	http://dx.doi.org/10.1063/1.4800541
DOI	10.1063/1.4800541 doi
其它	期刊：Applied Physics Letters 作者：G. Seguini; E. Cianci; C. Wiemer; D. Saynova; J. A. M. van Roosmalen; et al 出版日期：2013-04-01
求助人	韦涔在 2026-08-27 00:03:54 发布自浙江，悬赏 10 积分
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