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标题
[高分] Low-Stress Epitaxial Polysilicon Process for Micromirror Devices
网址
http://dx.doi.org/10.1541/ieejsmas.133.223
DOI
10.1541/ieejsmas.133.223 doi
其它 期刊：IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines
作者：Yukio Suzuki; Kentaro Totsu; Hiraku Watanabe; Masaaki Moriyama; Masayoshi Esashi; et al
出版日期：2013-01-01
求助人
成就的寒梅 在 2026-08-27 21:59:23 发布自江苏，悬赏 150 积分
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    科研通AI6.4 科研通AI6.4 机器人Lv12 上传了文件

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    21:59:26 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
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  • 3小时前

    成就的寒梅 成就的寒梅 Lv1 求助人 发起了本次求助

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