| 标题 |
 扫描电子显微镜样品制备原理及方法 |
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| DOI |
10.16495/j.1006-3757.2024.03.003
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扫描电子显微镜样品制备原理及方法 「期刊论文」 蒋蓉蓉 1 , 姚懿容 1 , 李明 1 , 管建敏 1 , 卢焕明 1 1. 中国科学院宁波材料技术与工程研究所测试中心 《分析测试技术与仪器》 2024 年第 3 期 153 - 160 ，共 8 页 合理正确的样品制备是高质量扫描电子显微镜（SEM）表征的重要前提.将样品固定在样品座上是一个简短但却重要的步骤，但其重要性却往往被低估.不合理的制样会造成表征中荷电效应、图像漂移、面分布重影、颗粒团聚等各种问题，不仅影响表征效果，增加测试难度，而且有可能错失重要信息.从导电胶的选择、样品座的选择、样品固定方式、电子迁移通道的搭建以及镀膜等方面，综合总结了样品制备的操作要点，并阐述了其机理和原因，希望帮助SEM使用者通过优化制样过程提高SEM的表征效果. |
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