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标题
Dry etching of platinum films with TiN masks in an Ar/O2 helicon wave plasma
网址
https://pubs.aip.org/avs/jva/article-pdf/18/1/181/8185748/18...
DOI
10.1116/1.582135 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science and Technology
作者：M. Chiang; F. Pan; Han Cheng; Jeng-Shu Liu; S. Chan; et al
出版日期：2000-01-03
求助人
小怪 在 2026-08-03 10:38:27 发布自安徽，悬赏 10 积分
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