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Comparison of PMMA shrinkage in ion beam lithography: PMMA on glass substrate vs free-standing PMMA film
网址
http://dx.doi.org/10.1016/j.nimb.2023.02.001
DOI
10.1016/j.nimb.2023.02.001 doi
其它 期刊：Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms
作者：Oleksandr Romanenko; Vasily Lavrentiev; Andrei Borodkin; Vladimir Havranek; Anna Mackova
出版日期：2023-05-01
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