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标题
Pathfinding the perfect EUV mask: understanding the EUV mask using the hybrid mask model
网址
http://dx.doi.org/10.1117/12.2601243
DOI
10.1117/12.2601243 doi
其它 期刊：International Conference on Extreme Ultraviolet Lithography 2021
作者：Hazem M. S. Mesilhy; Peter Evanschitzky; Gerardo Bottiglieri; Eelco van Setten; Claire van Lare; et al
出版日期：2021-09-29
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勤劳怜寒 在 2026-08-13 23:05:59 发布自四川，悬赏 20 积分
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