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标题
Electron Density and Electron Temperature Control with a Magnetic Field and a Grid in Inductively Coupled Argon Plasma
磁场和栅极对电感耦合氩等离子体中电子密度和电子温度的控制
相关领域
朗缪尔探针 温度电子 原子物理学 电子密度 等离子体 电子 化学 感应耦合等离子体 等离子体参数 电离 等离子体诊断 离子 物理 量子力学 有机化学
网址
DOI
10.1007/s11090-022-10295-7 doi
其它 期刊:Plasma Chemistry and Plasma Processing
作者:Yi He; Wanqin Jin; Yibo Wang; Shaobo Lv; Rui-sheng Wang; et al
出版日期:2022-10-28
求助人
byyyy 在 2024-02-20 19:25:37 发布自辽宁,悬赏 10 积分
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