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Electron Density and Electron Temperature Control with a Magnetic Field and a Grid in Inductively Coupled Argon Plasma
磁场和栅极对电感耦合氩等离子体中电子密度和电子温度的控制
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期刊:Plasma Chemistry and Plasma Processing 作者:Yi He; Wanqin Jin; Yibo Wang; Shaobo Lv; Rui-sheng Wang; et al 出版日期:2022-10-28 |
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