待确认
  • 文献求助详情
标题
NO-Induced Fast Chemical Dry Thinning of Si Wafer in NF3 Remote Plasmas
NF3远程等离子体中NO诱导的硅晶片快速化学干减薄
相关领域
稀释 薄脆饼 材料科学 远程等离子体 等离子体 光电子学 纳米技术 物理 核物理学 化学气相沉积 生态学 生物
网址
DOI
10.3938/jkps.54.1127 doi
其它 期刊:Journal of the Korean Physical Society
作者:S. M. Park; Jong‐Hyun Ahn; S. I. Kim; Nae‐Eung Lee
出版日期:2009-03-14
求助人
微笑的安容 在 2025-10-14 07:17:41 发布自辽宁,悬赏 10 积分
下载
 
温馨提示:该文献已被科研通 学术中心 收录,前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库,收集文献的基本信息(如标题、摘要、期刊、作者、被引量等),不提供下载功能。如需下载文献全文,请通过文献求助获取。
提交工单
求助 / 应助时间线
  • 请等待求助人确认

    已经有人上传了文献,该状态下其他人无法上传,请等待求助人确认该文件是否是他需要的。
    如果求助人在 48 小时内还未确认,系统默认应助成功,本求助将自动关闭。

  • 1小时前

    Singularity Singularity Lv126 上传了文件

    待审核 JP-54-3-1127.pdf (463.69 KB)
    温馨提示:本文件中的下载单位、IP等隐私信息已被删除。如有遗漏,请 提交工单 反馈。
  • 2小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献,机器人已退出,请等待人工下载

    07:17:45 未找到该文献,机器人已退出,请等待人工下载
    07:17:41 科研通AI机器人(新加坡)收到请求,开始寻找文献
    07:17:41 已向机器人发送请求
  • 2小时前

    微笑的安容 微笑的安容 Lv1 求助人 发起了本次求助

更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
刚刚
量子星尘发布了新的文献求助10
1秒前
冷静的夏槐完成签到,获得积分10
1秒前
1秒前
干净秋寒发布了新的文献求助10
1秒前
Ava应助欢喜的天空采纳,获得10
1秒前
1秒前
宛海发布了新的文献求助10
1秒前
今后应助UN采纳,获得10
2秒前
2秒前
2秒前
王加通发布了新的文献求助30
3秒前
NK001完成签到,获得积分10
3秒前
snail完成签到,获得积分10
3秒前
吉吉大王关注了科研通微信公众号
3秒前
胡乱说兔的熊完成签到,获得积分10
3秒前
3秒前
4秒前
Kay76发布了新的文献求助10
4秒前
张helen125发布了新的文献求助10
4秒前
个性跳跳糖完成签到,获得积分10
5秒前
lige发布了新的文献求助10
5秒前
朱妮妮发布了新的文献求助10
5秒前
6秒前
小凯同学完成签到,获得积分10
6秒前
6秒前
6秒前
chen完成签到,获得积分10
6秒前
6秒前
书~本完成签到,获得积分10
6秒前
小林完成签到 ,获得积分10
6秒前
jieQYan完成签到,获得积分10
6秒前
潇洒的诗桃应助庚午采纳,获得10
6秒前
灿2024发布了新的文献求助10
7秒前
火龙果完成签到,获得积分10
7秒前
阿冰发布了新的文献求助10
7秒前
任性的傲柏完成签到,获得积分10
8秒前
8秒前
满意的天发布了新的文献求助20
8秒前
D1fficulty完成签到,获得积分0
8秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要!!请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
SOFT MATTER SERIES Volume 22 Soft Matter in Foods 1000
Zur lokalen Geoidbestimmung aus terrestrischen Messungen vertikaler Schweregradienten 1000
《2023南京市住宿行业发展报告》 500
A Systemic-Functional Study of Language Choice in Singapore 500
Circulating tumor DNA from blood and cerebrospinal fluid in DLBCL: simultaneous evaluation of mutations, IG rearrangement, and IG clonality 500
Food Microbiology - An Introduction (5th Edition) 500
热门求助领域 (近24小时)
化学 医学 生物 材料科学 工程类 有机化学 内科学 生物化学 物理 计算机科学 纳米技术 遗传学 基因 复合材料 化学工程 物理化学 病理 催化作用 免疫学 量子力学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 4871349
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 4161422
关于积分的说明 12905167
捐赠科研通 3917546
什么是DOI,文献DOI怎么找? 2151052
邀请新用户注册赠送积分活动 1169435
关于科研通互助平台的介绍 1073262