In situ compositional analysis of ZnO films deposited using sputtering

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标题	In situ compositional analysis of ZnO films deposited using sputtering 溅射沉积ZnO薄膜的原位成分分析相关领域溅射材料科学分析化学（期刊）发射光谱氧化物金属发射强度溅射沉积薄膜谱线光电子学化学光致发光纳米技术冶金物理色谱法天文
网址	https://doi.org/10.1016/j.sab.2023.106842
DOI	10.1016/j.sab.2023.106842 doi
其它	期刊：Spectrochimica Acta Part B Atomic Spectroscopy 作者：Susumu Imashuku 出版日期：2023-12-22
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