Cleaning Challenges of High‐κ/Metal Gate Structures

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标题	Cleaning Challenges of High‐κ/Metal Gate Structures 相关领域光刻胶材料科学蚀刻（微加工）干法蚀刻硅光电子学金属浇口栅氧化层湿法清洗各向同性腐蚀栅极电介质咬边图层（电子）纳米技术晶体管电气工程工程类化学复合材料电压有机化学
网址	https://doi.org/10.1002/9781118071748.ch7 AI链接 handle.netdoi.org
DOI	10.1002/9781118071748.ch7 doi
其它	期刊：作者：Muhammad M. Hussain; Denis Shamiryan; Vasile Paraschiv; Ken‐Ichi Sano; Karen A. Reinhardt 出版日期：2010-12-20
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