Novel Scheme of Inner Spacer Length Optimization for Sub-3-nm Node Silicon n/p Nanosheet Field-Effect Transistors

待确认

文献求助详情

标题	Novel Scheme of Inner Spacer Length Optimization for Sub-3-nm Node Silicon n/p Nanosheet Field-Effect Transistors 亚3-nm节点硅n/p纳米片场效应晶体管内间隔层长度优化的新方案相关领域符号算法拓扑（电路）数学离散数学材料科学物理组合数学算术
网址	https://doi.org/10.1109/ted.2023.3326789
DOI	10.1109/ted.2023.3326789 doi
其它	期刊：IEEE Transactions on Electron Devices 作者：Sanguk Lee; Jinsu Jeong; Seunghwan Lee; Junjong Lee; Jaewan Lim; et al 出版日期：2023-10-31
求助人	大安吉在 2025-08-29 19:50:43 发布，悬赏 10 积分
下载
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

提交工单

求助 / 应助时间线

请等待求助人确认

已经有人上传了文献，该状态下其他人无法上传，请等待求助人确认该文件是否是他需要的。
如果求助人在 48 小时内还未确认，系统默认应助成功，本求助将自动关闭。
2小时前

bkagyin Lv12 上传了文件

待审核 Novel_Scheme_of_Inner_Spacer_Length_Optimization_for_Sub-3-nm_Node_Silicon_n_p_Nanosheet_Field-Effect_Transistors.pdf (4.1 MB)

温馨提示：本文件中的下载单位、IP等隐私信息已被删除。如有遗漏，请提交工单反馈。
2小时前

科研通AI2.0 机器人未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

19:50:47 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

19:50:43 科研通AI机器人（上海）收到请求，开始寻找文献

19:50:43 已向机器人发送请求
2小时前

大安吉 Lv3 求助人发起了本次求助

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2025年影响因子查询已上线 (2025-6-18)

更新

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 宇文一发布了新的文献求助10

1秒前; 量子星尘发布了新的文献求助10

5秒前; 科研通AI2S上传了应助文件

8秒前; Owen的应助被xiaochao采纳，获得10

8秒前; 和道一文字发布了新的文献求助20

11秒前; HAN发布了新的文献求助10

13秒前; 圆锥香蕉的应助被略略略采纳，获得20

13秒前; 挺萌的小龙虾完成签到，获得积分10

14秒前; linlin关闭了linlin的文献求助

15秒前; 汉堡包上传了应助文件

15秒前; 英姑上传了应助文件

17秒前; 漂泊2025完成签到，获得积分10

17秒前; 量子星尘发布了新的文献求助10

19秒前; krebs的应助被vivianxy采纳，获得20

19秒前; 博修发布了新的文献求助10

21秒前; 十三完成签到，获得积分10

23秒前; 李健上传了应助文件

23秒前; 仲如之发布了新的文献求助10

23秒前; 打打上传了应助文件

29秒前; jjjjjjj发布了新的文献求助10

30秒前; 夏天完成签到，获得积分10

32秒前; 社会主义接班人完成签到，获得积分10

33秒前; Rui豆豆发布了新的文献求助30

34秒前; 踏实的兔子完成签到，获得积分10

35秒前; orixero的应助被同學你該吃藥了采纳，获得10

35秒前; 布丁果冻完成签到，获得积分10

37秒前; jjjjjjj完成签到，获得积分20

38秒前; 汉堡包上传了应助文件

38秒前; 李健上传了应助文件

39秒前; 南冥完成签到，获得积分10

41秒前; 科研通AI5的应助被仲如之采纳，获得10

43秒前; Orange上传了应助文件

43秒前; 上官若男上传了应助文件

44秒前; 友好白凡发布了新的文献求助10

44秒前; 明哥发布了新的文献求助10

45秒前; orixero上传了应助文件

46秒前; HHH发布了新的文献求助10

46秒前; moming发布了新的文献求助10

47秒前; 小马甲的应助被驼驼采纳，获得10

49秒前; 量子星尘发布了新的文献求助10

49秒前