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 Plasma-stimulated great reduction of diffusion activation energies for B, Al, and Ag in Si Si中B、Al和Ag扩散活化能的等离子体激发大幅降低
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期刊：Physica Scripta 作者：Lili Zhang; Wanjin Xu; Tianchao Xu; Renchuan He; Rong Rong Huang; et al 出版日期：2023-04-06 |
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