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 Evolution of microstructure and macrostress in sputtered hard Ti(Al,V)N films with increasing energy delivered during their growth by bombarding ions 相关领域
微观结构
材料科学
复合材料
极限抗拉强度
脆性
溅射
弹性模量
溅射沉积
薄膜
纳米技术
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期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：J. Musil; Martin Jaroš; R. Čerstvý; Stanislav Haviar 出版日期：2016-11-15 |
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