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 Conformal growth of GaP on high aspect ratio Si structured surface via plasma-enhanced atomic layer deposition 等离子体增强原子层沉积在高纵横比Si结构表面上的GaP共形生长
相关领域
材料科学
硅
三甲基镓
原子层沉积
薄脆饼
图层（电子）
沉积（地质）
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镓
外延
光电子学
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古生物学
沉积物
生物
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期刊：Surface and Coatings Technology 作者：A V Uvarov; А.С. Гудовских; A I Baranov; A. A. Maksimova; Ekaterina Vyacheslavova; et al 出版日期：2023-12-28 |
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