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 Active microvalve driven by electro-conjugate fluid jet flow with a hydraulic power source on a chip 具有芯片上液压动力源的电共轭流体射流驱动的主动微阀
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期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering 作者：Tatsuya Matsubara; Kazuhiro YOSHIDA; Joon-wan KIM 出版日期：2020-07-02 |
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