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标题
Active microvalve driven by electro-conjugate fluid jet flow with a hydraulic power source on a chip
具有芯片上液压动力源的电共轭流体射流驱动的主动微阀
相关领域
微型泵 微通道 微流控 材料科学 小型化 流体学 电压 微电子机械系统 聚二甲基硅氧烷 体积流量 光电子学 机械工程 电气工程 纳米技术 工程类 机械 物理
网址
https://doi.org/10.1088/1361-6439/aba227
DOI
10.1088/1361-6439/aba227 doi
其它 期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering
作者：Tatsuya Matsubara; Kazuhiro YOSHIDA; Joon-wan KIM
出版日期：2020-07-02
求助人
funnyelephant 在 2025-10-19 09:35:10 发布自浙江，悬赏 10 积分
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