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 Atomic simulation of the temperature effect on fabrication mechanism of micro-structured surface on single-crystal silicon 温度对单晶硅微结构表面制备机理影响的原子模拟
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期刊：Journal of Manufacturing Processes 作者：Changlin Liu; Wai Sze Yip; Juan Chen; Ruoxin Wang; Jianfeng Xu; et al 出版日期：2024-11-25 |
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