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标题
Active monitoring and control of electron-beam-induced contamination
主动监测和控制电子束引起的污染
相关领域
污染 污染控制 沉积（地质） 阴极射线 残余物 超高真空 扫描电子显微镜 计算机科学 样品（材料） 真空度 电子束诱导沉积 材料科学 光学 环境科学 电子 纳米技术 物理 化学 扫描透射电子显微镜 色谱法 地质学 生物 量子力学 沉积物 古生物学 生态学 算法
网址
https://doi.org/10.1117/12.436724
DOI
10.1117/12.436724 doi
其它 期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE
作者：András Vládar; Michael T. Postek; Ronald Vane
出版日期：2001-08-22
求助人
RuO2 在 2025-07-18 20:26:02 发布自北京，悬赏 20 积分
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