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 Organosilicon films deposited in low-pressure plasma from hexamethyldisiloxane — A review 相关领域
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期刊：Vacuum 作者：Amanda S. M. de Freitas; Cristiane C. Maciel; Jéssica S. Rodrigues; Rafael Parra Ribeiro; Adriana de Oliveira Delgado-Silva; et al 出版日期：2021-08-27 |
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