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 Uniform subwavelength high-aspect ratio nanogratings on metal-protected bulk silicon produced by laser-induced periodic surface structuring 相关领域
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期刊：Applied Physics Letters 作者：Kirill Bronnikov; A. V. Dostovalov; V. S. Terentyev; Sergey A. Babin; А. Г. Козлов; et al 出版日期：2021-11-22 |
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