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标题
Strategy against electromigration-induced stress by passivation thickness design
钝化厚度设计对抗电迁移应力的策略
相关领域
钝化 电迁移 材料科学 互连 微电子 复合材料 压力(语言学) 断裂(地质) 光电子学 电子工程 图层(电子) 计算机科学 工程类 语言学 哲学 计算机网络
网址
DOI
10.1016/j.tsf.2023.140084 doi
其它 期刊:Thin Solid Films
作者:Yasuhiro Kimura
出版日期:2023-11-01
求助人
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