Atomic layer deposition

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标题	Atomic layer deposition 相关领域工作台原子层沉积原子单位沉积（地质）图层（电子）过程（计算）资源（消歧）材料科学计算机科学比例（比率）步伐原子层外延接口（物质）化学用户界面纳米技术薄层工艺工程研究数据工程物理数据存取
网址	https://doi.org/10.1038/s43586-025-00444-5
DOI	10.1038/s43586-025-00444-5 doi
其它	期刊：Nature Reviews Methods Primers 作者：无法获取出版日期：2025-10-16
求助人	cheesy 在 2026-06-27 13:38:19 发布自山东，悬赏 10 积分
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