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VIS Fabry-Pérot Interferometer with structured (TiO2/PE-SiO2)³ Bragg-reflectors on 5 mm large LP-Si3N4 membranes |
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10.1117/12.2509170
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期刊:MOEMS and Miniaturized Systems XVIII 作者:Christian Helke; Karla Hiller; Jan Seiler; Thomas Werner; Marco Meinig; et al 出版日期:2019-03-04 |
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(2025-6-4)