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标题
Breakthroughs in contact hole patterning enabled by directed self-assembly
网址
http://dx.doi.org/10.1117/12.3090334
DOI
10.1117/12.3090334 doi
其它 期刊：Novel Patterning Technologies 2026
作者：Shota Iino; Takehiro Seshimo; Ryutaro Sugawara; Takahiro Dazai; Kazufumi Sato
出版日期：2026-04-09
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智神阿保 在 2026-08-11 22:55:24 发布自安徽，悬赏 20 积分
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  • 16天前，求助关闭

    智神阿保 智神阿保 Lv1 求助人 关闭了本次求助。

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  • 17天前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

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  • 17天前

    智神阿保 智神阿保 Lv1 求助人 发起了本次求助

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