Pattern-based in-design fixing for improving design for manufacturability (DFM) rule compliance

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标题	Pattern-based in-design fixing for improving design for manufacturability (DFM) rule compliance
网址	http://dx.doi.org/10.1117/12.3010901
DOI	10.1117/12.3010901 doi
其它	期刊：DTCO and Computational Patterning III 作者：Lynn T. N. Wang; Ariel de Jesus Reyes Ruiz; Teodora Nicolae; Ivan Tanev; Klaus-Peter Johnsen; et al 出版日期：2024-04-11
求助人	tester_gater 在 2026-06-30 13:57:40 发布自上海，悬赏 20 积分
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