Investigation Structural Heterogeneities in Hydrogenated Nanocrystalline Silicon Thin Films from Argon-Diluted Silane Dusty Plasma PECVD - 科研通

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标题	Investigation Structural Heterogeneities in Hydrogenated Nanocrystalline Silicon Thin Films from Argon-Diluted Silane Dusty Plasma PECVD 氩气稀释硅烷尘埃等离子体PECVD氢化纳米硅薄膜的结构不均匀性研究相关领域等离子体增强化学气相沉积硅烷氩材料科学纳米晶材料硅薄膜纳米晶硅等离子体微粒电浆化学工程复合材料化学冶金纳米技术晶体硅非晶硅有机化学工程类物理量子力学
网址	https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2024.113568 AI链接 hal.sciencedoi.org
DOI	10.1016/j.vacuum.2024.113568 doi
其它	期刊：Vacuum 作者：Rachid Amrani; Fouaz Lekoui; F. Pichot; Kamal Annou; Pascale Abboud; et al 出版日期：2024-08-24
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