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[高分] On the Deposition Kinetics of the LPCVD Gate Oxides Prepared from SiH4 and O2
SiH4和O2制备LPCVD栅氧化物的沉积动力学
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网址
https://doi.org/10.1051/jphyscol:1995511
DOI
10.1051/jphyscol:1995511 doi
其它 期刊：Journal de Physique IV (Proceedings)
作者：J. Rem; J.H. Klootwijk; C. Cobianu; J. Holleman; J.F. Verweij
出版日期：1995-06-01
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orixero 在 2025-10-29 09:16:53 发布自浙江，悬赏 50 积分
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