Synchronising optical emission spectroscopy to spokes in magnetron sputtering discharges

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标题	Synchronising optical emission spectroscopy to spokes in magnetron sputtering discharges 相关领域高功率脉冲磁控溅射溅射沉积溅射氩发射光谱分析化学（期刊）材料科学谱线原子物理学化学物理薄膜纳米技术天文色谱法
网址	https://doi.org/10.1088/1361-6595/ac3210
DOI	10.1088/1361-6595/ac3210 doi
其它	期刊：Plasma Sources Science and Technology 作者：Philipp A. Maaß; Volker Schulz-von der Gathen; Achim von Keudell; Julian Held 出版日期：2021-10-21
求助人	晓希凝安在 2025-10-28 21:42:15 发布自河北，悬赏 10 积分
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