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标题
An Insightful Review of Galvanic Formations and Dynamic Interactions in Selectively Corroding Silicon Surfaces during Wafer Manufacturing
对芯片制造过程中选择性腐蚀硅表面中的电形成和动态相互作用的深入回顾
相关领域
原电池 薄脆饼 电偶腐蚀 硅 腐蚀 阳极 材料科学 电偶阳极 半导体 阴极 电化学 纳米技术 冶金 电极 光电子学 化学 阴极保护 电气工程 工程类 物理化学
网址
https://doi.org/10.1149/ma2016-02/27/1829
DOI
10.1149/ma2016-02/27/1829 doi
其它 期刊：Meeting abstracts/Meeting abstracts (Electrochemical Society. CD-ROM)
作者：Lieyi Sheng
出版日期：2016-09-01
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zzm314159 在 2025-07-16 23:39:06 发布自广东，悬赏 10 积分
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