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 Influence of Zr Doping on Electrical and Dielectric Properties of Spin-Coated Hafnia Films for CMOS Applications Zr掺杂对CMOS用旋涂铪薄膜电介性能的影响
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期刊：Journal of Electronic Materials 作者：Sabhya; Dhananjaya Kekuda; K. Mohan Rao 出版日期：2024-12-24 |
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