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标题
Passive silicon on-chip optic accelerometer for low frequency vibration detection
用于低频振动检测的无源硅片上光学加速度计
相关领域
加速度计 光学 振动 材料科学 声学 干涉测量 体微机械加工 表面微加工 频率响应 验证质量 加速度 物理 工程类 电气工程 制作 病理 经典力学 医学 替代医学 量子力学
网址
https://doi.org/10.1364/oe.476101
AI链接 doi.org nih.govdoi.org
DOI
10.1364/oe.476101 doi
其它 期刊：Optics Express
作者：Zhiyuan Qu; Ping Lü; Wanjin Zhang; Deming Liu; Jiangshan Zhang
出版日期：2022-12-01
求助人
rh 在 2025-09-02 20:41:14 发布自陕西，悬赏 10 积分
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