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  Passive silicon on-chip optic accelerometer for low frequency vibration detection 用于低频振动检测的无源硅片上光学加速度计
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加速度计
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期刊：Optics Express 作者：Zhiyuan Qu; Ping Lü; Wanjin Zhang; Deming Liu; Jiangshan Zhang 出版日期：2022-12-01 |
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