Reaction-diffusion model for hydrogen release from PECVD silicon nitride

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标题	Reaction-diffusion model for hydrogen release from PECVD silicon nitride PECVD氮化硅放氢的反应扩散模型相关领域等离子体增强化学气相沉积氢材料科学氮化硅硅傅里叶变换红外光谱退火（玻璃）扩散红外光谱学化学工程光谱学分析化学（期刊）化学光电子学复合材料热力学有机化学物理工程类量子力学
网址	https://doi.org/10.1109/iitc/mam57687.2023.10154702
DOI	10.1109/iitc/mam57687.2023.10154702 doi
其它	期刊：作者：Prafullkrishna Dani; Leo Rizzi; J. Franz; Joachim Knoch 出版日期：2023-05-01
求助人	waitamoment 在 2025-09-17 10:37:12 发布自上海，悬赏 10 积分
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