Lithography Limits: From Rayleigh Criterion to EUV and Multi-Patterning

已关闭

文献求助详情

标题	Lithography Limits: From Rayleigh Criterion to EUV and Multi-Patterning
网址	http://dx.doi.org/10.1117/12.2595888
DOI	10.1117/12.2595888 doi
求助人	研友_ngkEgn 在 2026-03-04 23:37:52 发布自江苏，悬赏 10 积分
下载

上个求助

提交工单

求助 / 应助时间线

6个月前，求助关闭

科研通管家机器人关闭了本次求助。

说明您的求助为疑难数据库（查看）[International Society for Optics and Photonics (SPIE)]，需要最低积分：20。您的求助积分为10，不符合要求，系统已关闭求助退还积分。如有需要，请重新设置积分【积分已退回】
6个月前

研友_ngkEgn Lv7 求助人发起了本次求助

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: chengjr完成签到，获得积分10

刚刚; 十又发布了新的文献求助10

1秒前; 小猫完成签到，获得积分20

1秒前; 时肆发布了新的文献求助10

1秒前; serenity完成签到，获得积分10

2秒前; ydz发布了新的文献求助10

2秒前; zzz完成签到，获得积分10

2秒前; 科研通AI6.4上传了应助文件

3秒前; kazewwk完成签到，获得积分10

3秒前; 舒心乐荷发布了新的文献求助10

3秒前; 机器猫nzy发布了新的文献求助10

4秒前; 李nb发布了新的文献求助10

4秒前; Owen上传了应助文件

5秒前; Hello的应助被STP顶峰相见采纳，获得10

6秒前; 万能图书馆上传了应助文件

7秒前; 小凯完成签到，获得积分10

7秒前; 小明同学完成签到，获得积分10

7秒前; 烂漫的天寿关闭了烂漫的天寿的文献求助

7秒前; 深情安青上传了应助文件

8秒前; 风趣的奇异果完成签到，获得积分10

8秒前; 小蘑菇上传了应助文件

9秒前; 共产主义战士上传了应助文件

9秒前; achun完成签到，获得积分10

10秒前; 普诺士菌完成签到，获得积分10

10秒前; 李爱国上传了应助文件

10秒前; 晨曦发布了新的文献求助10

10秒前; ding上传了应助文件

11秒前; good完成签到，获得积分10

11秒前; 李爱国的应助被TGJ采纳，获得10

11秒前; 丘比特的应助被杜培峰采纳，获得10

12秒前; 科目三的应助被机器猫nzy采纳，获得10

12秒前; 李可心发布了新的文献求助10

12秒前; 酷酷酷发布了新的文献求助10

12秒前; Nole的应助被危机的巧凡采纳，获得10

12秒前; xxx的应助被yu采纳，获得10

13秒前; yyyyyyy发布了新的文献求助10

13秒前; 张超发布了新的文献求助10

13秒前; Xu完成签到，获得积分10

14秒前; 酷酷的数据线完成签到，获得积分10

14秒前; 狂野妙菱发布了新的文献求助10

14秒前