Comparison of 40MHz and 60MHz HF Frequencies in Dual-Frequency CCP for Low-K AIO Process

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标题	Comparison of 40MHz and 60MHz HF Frequencies in Dual-Frequency CCP for Low-K AIO Process
网址	https://doi.org/10.1109/CSTIC64481.2025.11018049
DOI	10.1109/CSTIC64481.2025.11018049 doi
其它	期刊：2025 Conference of Science and Technology of Integrated Circuits (CSTIC) 作者：Weiming Liu; Bojia He; Hui Yang; Qiyao You; Chao Sun 出版日期：2025
求助人	归海书蝶在 2026-04-17 22:07:56 发布自上海，悬赏 10 积分
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