Wet etch process for high-resolution DSA patterning for advanced node DRAM

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标题	Wet etch process for high-resolution DSA patterning for advanced node DRAM 用于高级节点DRAM的高分辨率DSA图案化的湿法蚀刻工艺相关领域德拉姆节点（物理）过程（计算）计算机科学多重图案高分辨率材料科学光电子学蚀刻（微加工）嵌入式系统操作系统纳米技术工程类抵抗地质学图层（电子）结构工程遥感
网址	https://doi.org/10.1117/12.3011188
DOI	10.1117/12.3011188 doi
其它	期刊：作者：Hsing-Chen Wu; Ming-Chi Liao; Eri Hirahara; Tomohiro Iwaki 出版日期：2024-04-09
求助人	安静寒凡在 2024-04-20 09:57:24 发布自湖北，悬赏 30 积分
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