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Computational study on polymer filling process in nanoimprint lithography
纳米压印光刻中聚合物填充过程的计算研究
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期刊:Microelectronic Engineering 作者:Masaaki Yasuda; Kosei Araki; Akihiro Taga; Akira Horiba; Hiroaki Kawata; et al 出版日期:2011-08-01 |
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