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 Sub-atmospheric chemical vapor deposition (SACVD) of TEOS-ozone USG and BPSG TEOS-臭氧USG和BPSG的亚大气化学气相沉积
相关领域
化学气相沉积
臭氧
等离子体增强化学气相沉积
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期刊： 作者：P. Lee; M. Galiano; P. Keswick; Jonathan W.C. Wong; Byungha Shin; et al 出版日期：2002-12-04 |
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