Lifetime of dominant radicals for the deposition of a-Si:H from SiH4 and Si2H6 glow discharges

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标题	Lifetime of dominant radicals for the deposition of a-Si:H from SiH4 and Si2H6 glow discharges
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/0022309383...
DOI	10.1016/0022-3093(83)90264-8 doi
其它	期刊：Journal of Non-crystalline Solids 作者：A. Matsuda; Takao Kaga; Hideo Tanaka; Kazunobu Tanaka 出版日期：1983-12-01
求助人	yy 在 2026-10-14 20:14:16 发布自四川，悬赏 10 积分
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