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 Search for potential precursors for Si-atomic layer deposition- a quantum chemical study 寻找硅原子层沉积的潜在前驱物——量子化学研究
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期刊：arXiv (Cornell University) 作者：Ponniah Vajeeston; Helmer Fjellvåg; Ola Nilsen 出版日期：2016-11-14 |
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