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 Effect of argon on microwave plasma chemical vapor deposition of diamond coatings from an H2+CH4+Ar mixture activated in a microwave discharge 相关领域
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期刊：Thermophysics and Aeromechanics 作者：A. A. Emel’yanov; V A Pinaev; M. Yu. Plotnikov; А. К. Ребров; Н. И. Тимошенко; et al 出版日期：2023-10-23 |
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