High-etch-rate type 248-nm bottom antireflective coatings

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标题	High-etch-rate type 248-nm bottom antireflective coatings 相关领域光刻胶材料科学防反射涂料涂层光电子学蚀刻（微加工）基质（水族馆）光刻平版印刷术图层（电子）光学纳米技术地质学物理海洋学
网址	求助人暂未提供
DOI	暂未提供，该求助的时间将会延长，查看原因？ AI识别 10.1117/12.436915 doi
其它	T Enomoto
求助人	飞天小李警在 2026-02-04 10:20:01 发布自上海，悬赏 10 积分
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飞天小李警 Lv3 求助人发起了本次求助

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