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 Influence of Different Hydrocarbons on Chemical Vapor Deposition Growth and Surface Morphological Defects in 4H‐SiC Epitaxial Layers 相关领域
外延
甲烷
化学气相沉积
材料科学
碳纤维
丙烷
化学物理
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热扩散率
形态学（生物学）
化学工程
纳米技术
复合材料
化学
地质学
图层（电子）
有机化学
热力学
工程类
物理
古生物学
复合数
沉积物
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期刊：physica status solidi (b) 作者：Misagh Ghezellou; Jawad Ul‐Hassan 出版日期：2024-02-10 |
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