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标题
Precise Inner Spacer Etch-Back By Combining Ozone Gas Bake and Wet Chemical Etching
臭氧气体烘烤和湿法化学蚀刻相结合的精确内间隔物回蚀
相关领域
蚀刻（微加工） 臭氧 材料科学 干法蚀刻 各向同性腐蚀 反应离子刻蚀 纳米技术 光电子学 化学 有机化学 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1149/ma2024-02312265mtgabs
DOI
10.1149/ma2024-02312265mtgabs doi
其它 期刊：Meeting abstracts/Meeting abstracts (Electrochemical Society. CD-ROM)
作者：Hikaru Kawarazaki; Dai Ueda; Teppei Nakano; Takayoshi Tanaka; Ju-Geng Lai; et al
出版日期：2024-11-22
求助人
waye131 在 2025-04-27 12:44:54 发布自中国，悬赏 10 积分
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