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标题
Hardness, adhesion, and wear behavior of magnetron cosputtered Ti:Zr-O-N thin films
磁控共溅射Ti：Zr-O-N薄膜的硬度、附着力和磨损行为
相关领域
材料科学 氮化锆 薄膜 复合材料 溅射沉积 无定形固体 分层（地质） 溅射 基质（水族馆） 纳米压痕 钛 冶金 锆 粘附 氮化物 图层（电子） 氮化钛 结晶学 纳米技术 古生物学 化学 海洋学 生物 地质学 俯冲 构造学
网址
https://doi.org/10.1116/6.0003267
DOI
10.1116/6.0003267 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films
作者：Dan Cristea; Alexandra Scarlatescu; Georgiana Bulai; D. Martínez-Martínez; C.I. da Silva Oliveira; et al
出版日期：2024-01-30
求助人
墨夷 在 2025-06-10 05:04:49 发布，悬赏 10 积分
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