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 Growth mechanism study of boron nitride atomic layer deposition by experiment and density functional theory 氮化硼原子层沉积生长机理的实验和密度泛函理论研究
相关领域
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氮化硼
化学
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期刊：Computational Materials Science 作者：Naoya Uene; Takuya Mabuchi; Masaru Zaitsu; Yong Jin; Shigeo Yasuhara; et al 出版日期：2022-11-19 |
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