Progress in Polycrystalline SiC Growth by Low Pressure Chemical Vapor Deposition and Material Characterization

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标题	Progress in Polycrystalline SiC Growth by Low Pressure Chemical Vapor Deposition and Material Characterization 相关领域化学气相沉积微晶材料科学沉积（地质）基质（水族馆）薄膜兴奋剂纳米技术化学工程光电子学冶金海洋学沉积物地质学工程类古生物学生物
网址	https://www.mdpi.com/2072-666X/16/3/276/pdf?version=17406546...
DOI	10.3390/mi16030276 doi
其它	期刊：Micromachines 作者：Michail Gavalas; Yann Gallou; Didier Chaussende; E. Blanquet; F. Mercier; et al 出版日期：2025-02-27
求助人	慕容铭在 2026-03-12 13:44:54 发布自河南，悬赏 10 积分
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