| 标题 |
 Data-Driven and Mechanism-Based Hybrid Model for Semiconductor Silicon Monocrystalline Quality Prediction in the Czochralski Process 直拉法半导体硅单晶质量预测的数据驱动和机理混合模型
相关领域
单晶硅
过程（计算）
Crystal（编程语言）
非线性系统
极限学习机
半导体
机制（生物学）
硅
计算机科学
材料科学
控制理论（社会学）
人工智能
人工神经网络
光电子学
物理
操作系统
量子力学
程序设计语言
控制（管理）
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing 作者：Jun-Chao Ren; Ding Liu; Yin Wan 出版日期：2022-08-29 |
| 求助人 | |
| 下载 | 该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。 |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
Kao
Copyright
无极微光
GingerF
cdercder
潇洒的惋清
Zephyrite
务实狗
学术文献互助
魔法屎尿屁
不潮薯饼
Haiverxin
iNk
arniu2008
核桃
pluto
雪满头
Twonej
xjcy
Criminology34
皖公网安备34019202002308
