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标题
Predictive models for the surface roughness and subsurface damage depth of semiconductor materials in precision grinding
半导体材料精密磨削表面粗糙度和亚表面损伤深度的预测模型
相关领域
研磨 表面粗糙度 材料科学 表面光洁度 曲面（拓扑） 半导体 复合材料 光电子学 几何学 数学
网址
https://doi.org/10.1088/2631-7990/adae67
DOI
10.1088/2631-7990/adae67 doi
其它 期刊：International Journal of Extreme Manufacturing
作者：Shang Gao; Haoxiang Wang; Han Huang; Zhigang Dong; Renke Kang
出版日期：2025-02-06
求助人
仁爱芮 在 2025-08-28 22:53:36 发布，悬赏 10 积分
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